中科飞测(688361)：先进制程占比提升 明暗场进展顺利

中科飞测发布2026 年三季报，26Q1-3 实现营收16.14 亿元（yoy+34.31%），归母净利-0.95 亿元，扣非归母净利-2.05 亿元。公司3Q26 实现营收6.73亿元（yoy+34.73%，qoq+23.50%），归母净利0.32 亿元（yoy+783.70%，环比扭亏），扣非归母净利-0.13 亿元（同环比亏损收窄）。受益于新产品导入及先进制程收入占比提升，毛利率改善，盈利能力逐步修复。明暗场设备产业化进展顺利，订单占比较高，头部客户持续突破，有望驱动后续收入增长。近日公司第2,000 台集成电路质量控制设备正式出机并发往国内某知名集成电路制造商，充分彰显公司的产品、服务以及技术实力获得市场高度认可，展望未来，公司有望持续受益于先进制程和存储扩产，维持“买入”。


　　3Q26：先进制程收入占比提升，盈利能力逐步修复公司26Q1-3 实现营收16.14 亿元（yoy+34.31%），Q3 实现营收6.73 亿元（yoy+34.73%，qoq+23.50%），主要受益于暗场检测、高深宽比刻蚀结构量测等新产品及先进制程收入贡献提升。Q3先进制程收入占比超80%，推动毛利率环比提升6.53pct 至51.46%。Q3 归母净利0.32 亿元，环比扭亏；扣非归母净利-0.13 亿元，同环比亏损收窄。费用端，公司持续加大前瞻性研发投入，Q3 研发费用2.54 亿元（yoy+63.93%），期间费用率57.67%，短期利润仍受高研发投入影响。展望后续，随着先进制程收入占比提升、新产品逐步放量及规模效应显现，费用率有望逐步下降，盈利能力持续改善。


　　新产品迭代升级加速，明暗场设备成为订单增长核心驱动力公司明暗场检测、高深宽比刻蚀结构量测等新产品产业化进展顺利，第四代无图形检测、第三代套刻精度量测等产品持续迭代升级。截至26Q3 末，明暗场设备在订单结构中占比较高。暗场在国内先进制程客户出货规模及覆盖度领先，根据公司公告，公司是国内最先进制程领域唯一具备量产交付能力的国产供应商，更先进制程产品已进入客户样片测试阶段。明场设备已在多家先进逻辑及存储客户产线长期验证，并取得头部客户批量重复订单。1-3Q前道制程订单占比约80%，其中存储客户占比显著提升，先进封装订单占比约15%，主要来自HBM、2.5D/3D 封装。


　　公司提供“光学+电子束+X 光”一站式良率管理解决方案公司在全面覆盖光学技术的基础上，进一步拓展至电子束以及X 光技术领域。公司能够为先进逻辑、先进存储以及HBM2.5D/3D 封装等前沿领域客户提供一站式良率管理解决方案，十三大系列设备满足客户需求。电子束类设备领域，电子束关键尺寸量测设备Q3 已出货头部存储客户验证，多家头部逻辑、存储客户的晶圆样片测试进展积极，有望进一步打开电子束量检测市场空间。X 光类设备领域，高深宽比刻蚀结构量测设备、硅通孔铜填充空隙量测设备已通过国内头部存储客户产线验证。公司开发的三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户，并不断提高在不同应用领域的覆盖度。


　　盈利预测与估值


　　考虑到Q4 是设备公司确收旺季，我们维持公司26-28 年收入30.8/49.4/76.3亿元,同比增长49.9%/60.5%/54.6%，公司持续加大研发，我们上调研发费用率假设，对应下修公司26-28 年归母净利润95.3%/55.8%/8.0%至0.1/2.1/7.6 亿元。近期板块估值回调，可比公司2027 年Wind 一致预期PS均值为9.9 倍。量检测国产化率低且公司处于核心设备明暗场快速突破期，公司切入电子束领域扩张SAM，给予公司2027 年23 倍PS，目标价322.61元（目标价前值：420.79 元，对应30 倍2027 年PS），维持“买入”。


　　风险提示：全球半导体下行周期，半导体需求不及预期，行业竞争加剧。

□.郭.龙.飞./.吕.兰.兰    .华.泰.证.券.股.份.有.限.公.司