中科仪(920186)：中科院真空设备龙头：打破海外垄断 半导体+光伏双驱迎来高增长

中科院背景真空设备领军者，产能释放迎增长


　　公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司拥有三个国家级研发平台，截至2025 年12 月31 日，公司已经获得授权的发明专利103 项、实用新型专利20 项，软件著作权登记37 项。我们看好公司募投放量，同时下游需求增加，预计公司2026-2028 年的归母净利润分别为2.26/2.64/3.14 亿元（不考虑交易性金融资产公允价值变动以及出售金融资产所得收入)，对应EPS 分别为1.01/1.18/1.40 元/股，对应PE 为87.6/75.2/63.3X，首次覆盖，给予“增持”评级。


　　集成电路+光伏双轮驱动，干式真空泵需求持续高增公司的干式真空泵主要向集成电路、光伏产业销售。根据WSTS 预计，2025 年全球集成电路市场规模将增至6,779 亿美元，较2024 年增长25.65%。根据中国半导体行业协会统计数据，2016-2023 年中国大陆集成电路产业收入年复合增长率达16.03%。根据公司测算，2024 年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57 万台，市场规模约125.74 亿元；中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求为5.21 万台，市场规模约52.11 亿元；2024 年我国光伏产业对干式真空泵的需求约6.7-8.2 万台，按单台均价7 万元估算，市场规模约47.0-57.2 亿元。


　　国产干式真空泵龙头企业打破海外垄断，打入国际晶圆大厂供应链公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A 等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连Intel、SK 海力士的测试验证实现小批量出货。公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。


　　风险提示：技术产品研发风险、市场竞争加剧风险、经营业绩下滑风险、公允价值变动风险。

□.诸.海.滨    .开.源.证.券.股.份.有.限.公.司