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 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)基金投资组合(持股) 年份： | | 截止日期 | 股票代码 | 股票名称 | 数量(万股) | 持有市值(万元) | 占基金资产净值比例(%) | | 2026-09-30 | 688120 | 华海清科 | 2047.96 | 465766.71 | 85.88% | | 2026-09-30 | 688361 | 中科飞测 | 1292.46 | 451186.23 | 83.19% | | 2026-09-30 | 688012 | 中微公司 | 1344.79 | 428382.00 | 78.98% | | 2026-09-30 | 688072 | 拓荆科技 | 627.01 | 401284.15 | 73.99% | | 2026-09-30 | 688037 | 芯源微 | 846.32 | 276974.00 | 51.07% | | 2026-09-30 | 688200 | 华峰测控 | 739.40 | 276536.99 | 50.99% | | 2026-09-30 | 688082 | 盛美上海 | 761.90 | 224212.86 | 41.34% | | 2026-09-30 | 688126 | 沪硅产业 | 8700.43 | 203416.05 | 37.50% | | 2026-09-30 | 688019 | 安集科技 | 958.35 | 202212.61 | 37.28% | | 2026-09-30 | 688409 | 富创精密 | 960.42 | 163367.32 | 30.12% | | 2026-09-30 | 688146 | 中船特气 | 836.01 | 159393.40 | 29.39% | | 2026-09-30 | 688234 | 天岳先进 | 1131.77 | 118145.32 | 21.78% | | 2026-09-30 | 688147 | 微导纳米 | 974.72 | 98846.78 | 18.22% | | 2026-09-30 | 688432 | 有研硅 | 1975.12 | 93008.52 | 17.15% | | 2026-09-30 | 688652 | 京仪装备 | 528.47 | 69060.68 | 12.73% | | 2026-09-30 | 688809 | 强一股份 | 135.19 | 66058.27 | 12.18% | | 2026-09-30 | 688549 | 中巨芯 | 3107.70 | 64981.93 | 11.98% | | 2026-09-30 | 688545 | 兴福电子 | 945.75 | 64972.89 | 11.98% | | 2026-09-30 | 688233 | 神工股份 | 535.74 | 47102.29 | 8.68% | | 2026-09-30 | 688535 | 华海诚科 | 447.52 | 43579.85 | 8.04% | | 2026-09-30 | 688605 | 先锋精科 | 531.00 | 42431.83 | 7.82% | | 2026-09-30 | 688106 | 金宏气体 | 1688.14 | 41612.55 | 7.67% | | 2026-09-30 | 688783 | 西安奕材 | 1063.75 | 28636.10 | 5.28% | | 2026-09-30 | 688720 | 艾森股份 | 450.68 | 27955.84 | 5.15% | | 2026-09-30 | 688584 | 上海合晶 | 1056.18 | 27851.59 | 5.14% | | 2026-09-30 | 688530 | 欧莱新材 | 420.27 | 23014.11 | 4.24% | | 2026-09-30 | 688478 | 晶升股份 | 364.26 | 16774.15 | 3.09% | | 2026-09-30 | 688721 | 龙图光罩 | 348.97 | 13229.61 | 2.44% | | 2026-09-30 | 688727 | 恒坤新材 | 281.65 | 12237.61 | 2.26% | |
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